高线性扫描,适用于AFM / SPM高达20皮米分辨率,迟滞<1 nm由于闭环驱动概念的最高带宽高分辨率操作工具,用于生物技术/纳米技术谐振频率4.0 kHz (X, Y), 11 kHz (Z)行程范围1 μ m × 1 μ m × 0.6 μ m由于零弯曲导轨导轨导向精度高弯曲导轨不需要维护,摩擦和磨损,不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力,它们对冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容和工作在广泛的温度范围。扫描探针显微镜原子力显微镜扫描和筛选由于并联运动引起的高动态多轴操作在并联运动多轴系统中,所有的执行机构都在一个共同的平台上工作。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态和精确的运动。