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XY nanopositioning系统
p - 763
压电
紧凑的
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特征
数量的轴
XY
特性
压电
其他特征
紧凑的
描述
位置稳定性和分辨率高,采用电容式传感器,占地面积小,边长70毫米,透明孔径30毫米× 30毫米,精确级纳米定位系统2轴,串行运动学。无摩擦弯曲关节与机械杠杆运动放大器。PICMA®高性能压电驱动压电陶瓷执行器具有全陶瓷绝缘。寿命更长,抗湿度和工作温度可达80°C。应用领域:研究和工业中的样品处理和定位,也适用于透射光应用
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π电子显微镜
16 页面
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