XY阶段

机动化的 两轴 紧凑的

系统从jena Antriebstechnik是一个紧凑,主轴平面桥。单位准备机械和电气连接。设计螺旋领先20毫米,旅游范围的500 x 500毫米,从0.5到1.0µm定位分辨率,< 10µm没有线性测量系统的重复性。这种系统有不同的变异与线性测量系统。