螺杆泵眼镜蛇BC 0100f

干 紧凑的

COBRA BC 0100/0200 F高级螺杆设计:钟形结构，专利自平衡螺杆高效:低运行成本，节能，最低维护，高正常运行时间可靠:操作可靠灵活:应用导向安静:噪音水平< 58 dB(A)紧凑设计COBRA BC 0100/0200 F是经过验证的COBRA BC系列干螺杆真空泵。最先进的螺杆泵技术，具有专门开发的螺杆型材，设定了新的效率标准，使这些真空泵成为负载锁定和传输室任务的理想解决方案，以及在计量，光刻，物理气相沉积(PVD)和快速热退火(RTA)等过程中。由于复杂的钟形悬臂结构，双转子可变螺距螺钉仅安装在电机侧，而独特的“飞行轴承”设计使进口轴承成为不必要的。因此，泵送的介质不会与轴承接触。这确保了清洁的真空产生，并允许泵送气体的充分回收。入口和出口之间的直接气路防止了死空间，并确保压缩室内没有工艺沉积物。专利的自平衡螺杆设计，螺杆转子精确安装在重心处，确保了卓越的运行质量和高正常运行时间。一个直接安装的罐装电机使得COBRA BC系列的尺寸非常紧凑。