真空対応ポジショニングステ，ジ

ストロ，ク: 379、179、259、99毫米
速度: 15mm /s

．.．CLL42は,ペイロードを搭載するための大きなプラットフォームで,最大619毫米の移動範囲を持っています。CLL42には,SmarActs社製の交換可能なドライブユニットが搭載されており,ステージの中核部品であるピエゾドライブへのアクセスが容易になっています。これにより，メンテナンスが非常に簡単になりました。また，高真空バ，ジョンも用意されています。標準バージョンでは、99、179、259、379mmの移動量があります。もちろん、ご要望に応じて特別な長さも可能です。 メカニカル ブロッキングフォース ...

ストロ，ク: 26mm
速度: 20mm /s

．.．slc - 1740は40×17×8.5毫米のサイズで,移動量26毫米,法線方向の力30 nを実現しています。なお,このリニアピエゾステージのダウンロード資料は,立场センサーを搭載した大気圧または高压環境用のslc - 1740の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ,より高い阻止力を持つステージ,その他のセンサーオプションなど,他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については,当社のセールスチームにお問い合わせください。メカニカルブロッキングフォス…

ストロ，ク: 31mm
速度: 20mm /s

．.．SLC-1750の可動範囲は31mm，法線方向の力は30Nで，寸法は50×17×8.5mmです。なお,このリニアピエゾステージのダウンロード資料は,立场センサを搭載した大気圧または高压環境用のslc - 1750の寸法と仕様を示しています。超高真空対応ステージ,より高い阻止力を持つステージ,その他のセンサーオプションなど,その他のバリエーションの技術的な図面や詳細な仕様については,当社のセールスチームにお問い合わせください。メカニカルブロッキングフォス…

ストロ，ク: 25mm ~ 200mm
速度: 0 m/s ~ 0.1 m/s

ストロ，ク: 20mm ~ 40mm
速度:最大0.048 m/s

ストロ，ク: 10mm
速度: 1mm /s

ストロ，ク: 3mm
速度: 1.5 mm/s

ストロ，ク: 8mm
速度: 1.2 mm/s

ストロ，ク: 30、50、100毫米
速度: 5,50 mm/s

．.．——真空:全レンジ高压/超高压/ EUV最大10 e-11 mbar——潤滑液:最大10 e-8 /ドライ:最大10 e-11 mbar——最大ベークアウト温度120°Cオプションで設定可能——磁性体,低磁性体、磁性体なしのバージョンがあります。—最大2種類のモタを使用し，高負荷の動作に対応—異なるモタバリエション。ナノモーション,ピエゾモータ,リニアモータ- XYZ位置決めシステムとの組み合わせが可能——回転テーブル(例:DT105)との組み合わせで,回転アプリケーションに対応可能-…

ストロ，ク: 50、100毫米
速度: 5mm /s

．.．——真空:全レンジ高压/超高压/ EUV最大10 e-11 mbar——潤滑油:最大10 e-8 /ドライ:最大10 e-11 mbar——最高温度ベークアウト温度120°C -クリーンルームクラス4 ISO 14644 - 1(ご要望によりクラス1まで対応可能)——ドライ運転でも非常に長い寿命オプションで設定可能——ピエゾブレーク搭載可能——用途に応じた材料選択と真空潤滑方式——チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応——クリーンルーム……

ストロ，ク: 60、130毫米
速度: 5mm /s

．.．——真空:全レンジ高压/超高压/ EUV最大10 e-11 mbar——潤滑油:最大10 e-8 /ドライ:最大10 e-11 mbar——最高温度ベークアウト温度120°C -磁気バージョンもありますオプションで設定可能——用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式——チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応——クリーンルームISO 14644 - 1用バージョン(ご要望に応じてクラス1まで対応可能)——コントローラFMC400/450をオプションで用意多軸システムの強力なコンポーネントとして,また複数のサンプルを同時にスキャンするために使用されます。超高真空中で高荷重をかけながら，垂直方向にも高精度の位置決めが可能です。応用分野多軸システムセットアップ,プロセスオートメーション,3 dスキャン,サンプルスキャン,イメージングシステムの位置決め,顕微鏡,サンプル分析,半導体検査,バイオテクノロジーおよび半導体技術における品質保証,研究,ビームライン,加速器,シンクロトロン……

ストロ，ク: 5、15、25毫米
速度: 0.7 m/s

．.．直流ギアモーターによるXY (Z)コンビネーションと多様な移動範囲のバリエーション——10-6hPaまでの真空に対応——折りたたみ式駆動で非常にコンパクト——クローズドループの直流モーター——トラベルレンジ5日,15日,25毫米-非接触式リファレンススイッチおよびリミットスイッチ- XYセットアップを直接取り付け可能汎用性の高いコンパクトなリニアステージベルト駆動による折り返し駆動でコンパクトなリニアステージ。10毫米φのクリアアパーチャを採用し,アダプタプレートなしでXY装置を直接取り付けることができます。駆動方式 - ...

ストロ，ク: 10、13毫米

．.．XYZピエゾステージピエゾモータ駆動トラベル13 x 13 x 10毫米特高压対応……

．.．Xrt-u 30は，超音波ピエゾモ，タによって駆動されるコンパクトで精密な回転ステ，ジです。XRT-U 30を使用すると,空気軸受ロータリーステージに匹敵する誤差動作を,より小さな容積でより低価格で実現できます。他のピエゾモータ技術と比較して,超音波ピエゾモータは,より長い寿命,ノイズのない動作,低エネルギー消費を保証します。これにより,XRT-Uは,マイクロCTスキャナ,計測アプリケーション,電子顕微鏡などの真空および非磁性アプリケーション向けの最先端の回転ステージとなります。.．.

ストロ，ク: 50mm ~ 200mm