空気軸受ポジショニングステ，ジ

ストロ，ク: 12mm ~ 320mm

速度: 200mm /s

速度: 100mm /s

．.．RotoLinear Z(电梯)-θ(θ)ポジショニングモジュールは,ピックアンドプレースアプリケーションにおいて,従来の電気機械式アクチュエータに代わる高性能な2軸エアベアリングシステムです。最新のブラシレスサーボモータ,エンコーダ,エアベアリング技術を組み合わせ,非常にコンパクトなパッケージで,正確でプログラム可能な位置と速度制御を実現します。このz -θステジは，2軸平面とエアベアリング技術を採用しています。ドラブ，ベアリング，フィドバックは完全に非接触です。ロトリニアステージには,ステージ上面に補助真空ラインと電気ラインを通すためのホールスルーがあります。プラナxyフォサに取り付けて，ロボットx-y-z -θセルとして動作させることができます。.．.

．.．プラテンと呼ばれる特殊な”ワッフル状”の表面上を,摩擦のないエアベアリング上を滑動するフォーサーと呼ばれる移動体で構成されています。プレーナーフォーサーは,互いに90度に配向した2つまたは4つのリニアモータリングモジュールを含んでいます。モータリングモジュールが変化する電流に反応すると,フォーサーはプラテンを横切って移動し,連続的な直線運動を生み出します。また,移動および回転モードでフォーサーを制御して,XYおよびシータ(対角線)運動を実行することもできます。大きな回転能力を得るために,プレーナーフォーサーは仅仅ロータリーテーブルやZリフトモーターと統合することができます。プレーナーフォーサーは,標準的なマイクロステッピングドライブとインデクサーと互換性があります。また，IntelLiCoderフィ，ドバックを装備し，クロ，ズドル，プで駆動することもできます。平面xyテブルは，任意の向き(側壁，上下逆さま)で操作できます。.．.

ストロ，ク: 500、1000、1500、2000毫米
速度: 1,210、790、2,060、1,630 mm/s

．.．LA340リニアステージは幅340毫米で,花崗岩のプレートをベースに,エアベアリングを使用して構築されました。これにより,完璧な平面度,ピッチとヨーの最小公差,滑らかな走行特性が求められるあらゆるアプリケーションに使用することができます。——スキャニング用途や高精度な位置決めに最適——最大±0.3µmまでの非常に高い繰返し精度——最大速度2060 mm / sでの高い動的特性,最大500 Nの負荷容量——最大±0.8µmの完璧な平面度——長寿命-…

ストロ，ク: 385mm
速度: 330mm /s
繰返し精度: 0.3 μ m - 0.4 μ m

．.．大口径スキャニングステ，ジ繰り返し精度を追求した大型精密，xy，ステ，ジです。研磨クロスローラーガイドを採用し,真直度・平面度ともに±0.15μmの繰り返し精度を実現しています。大きな透過光により，大型の基板も両面から，または透視しながら測定できます。また，測定用途でセンサ，の精度をフルに活用するための差分測定のオプションも用意されています。ステ，ジをフルに動かしても，常に60mm×60mm以上の開口部が確保されます。高加速度による高速スキャンアプリケション…

ストロ，ク: 350mm
速度: 200m /s
繰返し精度: 0.3 μ m - 0.4 μ m

．.．フラット,正確,高速KT500は,その非常にフラットでコンパクトなデザインだけが特徴ではありません。350mmの移動量により，大きな基板や部品も全面に渡ってスキャンすることができます。また,すべてのプロセスパラメータを正確に再現できるように設計されており,エアベアリングシステムに匹敵する性能を実現しています。プラグ接続で取り外し可能なケーブルインターフェースにより,簡単な取り付けと50万回のフルストロークまでのメンテナンスフリー運転が可能です。長寿命でダ电子邮箱ナミックなxyシステム-…

．.．——モーションプラットフォーム直径200毫米または300毫米-ロープロファイル,60毫米-偏心および平面度< 100 nm -磁気予圧による静止状態でのセルフロック機能(オプションPIglide RLシリーズの直接駆動低背回転ステージは,低背設計で最高の精度を実現します。さまざまなオプションを組み合わせて,ポイントツーポイントインデックスや等速スキャンに最適なソリューションを構築できます。rlステジは優れた移動精度，平面度，ふらき性能を備えています。3相トルクモタ-…

ストロ，ク: 25、150、50、100毫米
速度: 300mm /s

．.．abl1000シリ，ズステ，ジは，エアベアリングステ，ジの中で最も高性能なミニチュアステ，ジです。超精密な位置決め精度と幾何学的性能が重要な，スペ，スに制限のあるアプリケ，ションに最適です。また，コンパクトな形状は，他の動作軸やシステムとの統合を容易にします。設計の特徴—高性能なアラescメントとアセンブリのために設計されています。-0.5 nmのクローズドループ分解能——完全プリロード型エアベアリング——低ノイズリニアアンプ——完全な非接触設計リニアステージリニアポジショナーは,完全なプリロード型,非接触設計です。摩擦のないエアベアリングは，高精度なアプリケ，ションの標準となることが証明されています。非接触型リニアブラシレスサーボモータで駆動されるこのステージは,小さな正確なステップや一定の滑らかな速度が要求される用途で究極のソリューションであることが証明されています。優れた磁場設計とモータコイル設計により,小型エアベアリングステージとしては最高レベルの出力が得られます。サ，ボ性能に優れ，堅牢で乱れのないケ，ブルマネジメントシステムを採用しています。フィードバックと制御システム高性能リニアアンプ,PWMアンプをはじめ,最新のコントローラを豊富に取り揃えています。オプション便利なラックマウントまたはパネルマウントアンプをすべてのシステムで提供しています。Aerotechの専門技術スタッフは、カスタムシステムの設計に精通しており、お客様と協力して、お客様のアプリケーションの固有のニーズを満たすシステムを生成します。 ...

．.．高精度な測定を実現するために設計されています。ロ，タリ，ユニットは減摩ベアリングを採用し，遊びがありません。抜群の剛性を誇ります。高精度な位置決めを可能にする高分解能エンコーダ。 RT-350 ピエゾドライブ搭載。使用される材料の磁界強度が低いため、CT測定システムの回転軸として最適です。 オプション >空気圧による回転の固定 >スプラッシュガード RT-500 トルクドライブ付き。RT-500は、その優れた構造により、多軸システムの回転軸として使用することができます。 オプション >空圧式回転クランプ >スプラッシュガード >ウォームギアドライブとサーボドライブ RT-1500 サーボドライブ付き。軸方向にエアベアリングを採用しています。ベースプレートと回転テーブルは天然の硬質石、御影石を使用。自動調整機能により、様々な重量負荷でもエアギャップは一定に保たれます。 オプション >空気圧による回転の締め付け >スプラッシュガード >角度エンコーダ >手動調整 ...