高真空用バルブ151系列

ゲト 空圧式 絶縁

特徴

タereplicationプ

ゲト

作動

空圧式

機能

絶縁

ボディ

アルミニウム

応用

高真空用, 半導体産業用

その他の特徴

複動

呼び径

63毫米，100毫米，160毫米，200毫米，250毫米(2.48英寸)

圧力

最少:4 bar (58 psi)

最大:7 bar (101.5 psi)

温度

最少:0°c(32°f)

最大:250℃(482°f)

流量

480升/秒，1700升/秒，6000升/秒，12000升/秒，19400升/秒(127 us gal/s)

詳細

カタログ