回転ポジショニングステ，ジrthm - 174

モ，タ，式 単軸 コンパクト

RTHMシリーズのロータリーステージは,マイクロステッピングやブラシレスサーボモータコントローラから駆動することで,アーク秒単位の分解能を実現しています。コンパクトな精密ベアリングの採用により，薄型設計を実現しています。ステージの回転キャリッジは,最大10公斤までの荷重を連続的に回転させることができ,ステージ内に直接光路やケーブルを通すことができるように,大きな開口部を設けています。ステージ本体は軽量アルマイト製で,光学テーブルや可動式リニアアクチュエータやXYアクチュエータに直接取り付けることができ,任意の向きに取り付けることができます。ステッパーモーターの回転運動をキャリッジの回転運動に伝達するために精密ウォームギアアセンブリを採用しています。小型であるため,レーザーキャビティ,ディスクテクスチャリング装置,ファイバー光学部品の製造エリア,半導体製造などの狭いスペースでの使用が可能です。真空対応のロータリーステージrthm - 174とrthm - 190は10 - 6托の真空度で動作するように設計されています。