一ロータリーテーブルは,優れた角度位置決めを提供し,ウォーム,ギア,ベルトドライブに関連するバックラッシュ,摩擦,摩耗の問題を排除するように設計されています。一ステージの低メンテナンス性と高スループット特性により,総所有コストを最小限に抑えることができます。コンパクトなパッケージと優れたデザインの一ロータリーステージは,ステージの高さを最小限に抑えるために最適化されています。ステ,ジの薄型化により,システム全体の作業高さを低減しています。アンギュラコンタクトベアリングを使用しており,ぐらつき,モーメント剛性,フリクションの性能を最大化しています。一ステージは,エアラインやワイヤーラインのフィードスルーやビームデリバリーに使用できるように,大きなクリアなセンターアパーチャーを備えています。获取はダレクトドラブ三相ブラシレスモタ技術を利用しています。ブラシを交換する必要がなく,ギアトレ。コアレス磁気設計により,スム,ズな回転とダ,ナミックな性能を保証します。非接触式エンコ,ダで正確な位置決めが可能です。モ,タ,とロ,タリ,エンコ,ダは直接結合されているため,バックラッシュがありません。低イナーシャとゼロバックラッシュにより,一は頻繁な方向転換を必要とするアプリケーションに理想的なソリューションとなります。半導体組立電子部品の組立精密工作機械ロボットハンドラ,ウェハ処理オ,トメ,ション
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